3D-CT AXI检测IGBT功率模块

高速、高精度的3D-CT AXI方案

半导体领域IGBT（绝缘栅双极晶体管）功率模块的可靠性至关重要。焊接层内部的空洞等缺陷是影响其性能和寿命的关键隐患。为了应对这一挑战骅飞推出了专为IGBT功率模块设计的 3D-CT AXI检测设备 。该设备在实现业界先进的检测速度的同时，还能可靠发现传统方法难以探查的制造缺陷，而且其兼具出色的操作便利性与维护性。

待测的IGBT功率模块

核心优势：平面CT技术带来的卓越空洞检测能力

二维X-Ray检测中，由于射线垂直照射，散热片、垫片和多层焊料会影像重叠，导致无法准确测量单个焊接层内的空洞。

IGBT功率模块截面示意图

骅飞的 3D-CT AXI检测设备 采用了独特的平面CT（Planar CT ）成像技术。这项技术专为平面型物体优化，能够清晰地分离每一个独立的焊接层，从而精确识别并测量其中隐藏的微小空洞，实现真正的3D无损检测。

稳定可靠的成像，源于精密的硬件设计

卓越的检测能力离不开坚实的硬件基础。设备采用高刚性框架和高精度线性尺，确保了精准的定位与稳定的成像效果。系统在图像计算过程中会实时校准平台位置信息，最终生成边缘清晰、细节丰富的高清断层图像，为准确判断提供可靠依据。

IGBT焊接层气孔检测效果图1

智能算法加持，精准判定OK/NG

得益于大功率X射线源，本系统尤其适合检测厚重型的功率模块，能够穿透散热片等高密度材料，不受其噪声干扰，可靠地识别气孔。

创新的空洞检测算法内置了先进的噪声消除滤波器，能够准确识别过去难以区分的微小空洞。可以看到，算法能有效过滤伪影，更精确地还原缺陷状态并以此为依据自动判定产品合格与否（OK/NG）。

IGBT焊接层气孔检测效果图2

全面兼容，轻松应对薄型DSC电源模块

随着技术发展，轻薄化的DSC（分立和系统元件）电源模块日益普及。即使面对这类层数更多、结构更紧凑的组件，3D-CT AXI检测设备 同样能清晰分离垫片与各个焊料层 ，精准捕获空洞缺陷。

DSC电源模块剖面图

提升生产效率与设备可维护性说明

1. 离线调试，生产不中断

独特的离线调试功能允许工程师在不停止生产线的情况下，对已采集的缺陷图像进行分析和调试。算法库的更新可以实时完成，无需停机。同时，历史缺陷数据的保存与复查功能，也为质量保证和算法优化提供了有力支持。

2. 长寿命硬件与智能化自诊断

• 高耐用性设计：在大规模生产环境中，设备必须保持长期稳定的精度。通过采用独有的高刚性框架和易于更换的模块化设计，不仅延长了设备寿命，也大大简化了维护流程。同时，优化的探测器铅保护设计显著降低了辐射对传感器的损耗。

• 扩展的自我诊断功能：为确保始终如一的高精度检测，设备能够定期对X射线源状态、图像均匀性和图像失真等关键参数进行自我诊断。这使得维护可以计划性地进行，有效预防突发故障，减少停机时间，并避免不必要的备件更换，从而降低了整体运营成本。